Аннотация:Разработана методика растворения монокристаллического карбида кремния в минеральных кислотах высокой чистоты. Методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой исследован примесный состав исходного сырья от различных производителей и выращенных из них поли- и монокристаллов.