Аннотация:В данной работе были экспериментально изучены методы микролинзовой оптической микроскопии. Были проведены эксперименты в различных режимах: на воздухе и в иммерсионной среде, в режимах проходящего и отраженного света. В качестве образцов исследовались: топология микросхемы центрального процессора, размер разрешенных структур составил 150 нм; рельефная дифракционная решетка на метализированном термопластика с периодом структур 800 нм и шириной щелей 300 нм; стеклянная подложка с напыленным слоем золота и вытравленными полыми структурами в форме многоугольников от 5 до 20 мкм. Также были исследованы поверхности биологических объектов: морфология крыла мухи, размеры микротрихий на котором составляют около 18 мкм; структурные особенности эритроцитов по мере превращения в эхиноциты и наблюдение процесса в реальном времени; были получены изображения бацилл Brevibacillus laterosporus. Также были проведены измерения с использованием лазерного проекционного микроскопа в качестве оптического усилителя. При использовании лазера на парах меди в оптической системе удается получать высокий контраст при существенно меньшей степени освещенности образца, это актуально для чувствительных биологических образцов.
В результате были получены изображения исследуемых объектов в суперразрешении, были разрешены структуры, размеры которых составляют менее 200 нм.