|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Effect of VUV photons on low-k OSG damage and etching by F atoms at the lowered temperatureдоклад на конференции
- Авторы: Rakhimova T.V., Mankelevich Yu A., Lopaev D.V., Baklanov M.R., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Kurchikov K.A.
- Международная Конференция (Семинар (workshop)) : PESM 2015
- Даты проведения конференции: 27-28 апреля 2015
- Дата доклада: 28 апреля 2015
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Lopaev D.V.
- Место проведения: Leuven, Belgium
- Добавил в систему: Зотович Алексей Иванович