|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
ФОРМИРОВАНИЕ БАЗОВОГО СЛОЯ И ВОЗДУШНЫХ МОСТОВ ДЛЯ СВЕРХПРОВОДНИКОВЫХ СХЕМ НА ОСНОВЕ ТАНТАЛАдоклад на конференции
- Авторы: Котенков С.А., Зикий Е.В., Смирнов Н.С., Матанин А.Р., Иванов А.И., Полозов В.И., Степанов И.А., Малёванная Е.И., Москалёва Д.А., Фокин Д.А., Андрощук М.В., Сорокина О.С., Москалев Д.О., Соловьева А.А., Ечеистов В.В., Коробенко И.С., Коршаков Н.Д., Гетманов Б.К., Агафонова Ю.А., Михалин Д.А., Широков Д.Е., Мухин Г.А., Букатин С.В., Ершов Г.А., Баклыков и И А Родионов Д.А.
- Международная Конференция (Симпозиум) : XXX Международный Симпозиум “Нанофизика и наноэлектроника”
- Даты проведения конференции: 9-13 марта 2026
- Дата доклада: 12 марта 2026
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Нижний Новгород, Россия
-
Аннотация доклада:
Тантал (Ta) является наиболее перспективным материалом для формирования базового слоя (линии передачи, ёмкости, резонаторы, заземляющая поверхность) сверхпроводниковых многокубитных схем с высокими временами релаксации благодаря химической стойкости, относительно высокой критической температуре сверхпроводящего перехода и плотному однородному естественному оксиду. При этом тонкие плёнки Ta могут быть получены минимум 4 способами. Мы изготовили, характеризовали и сравнили высокодобротные копланарные резонаторы на основе 2 типов тонкоплёночного α-Ta, а также изготовили высокопрочные танталовые воздушные мостики.
- Добавил в систему: Зикий Евгений Владимирович