|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Тантал (Ta) является наиболее перспективным материалом для формирования базового слоя (линии передачи, ёмкости, резонаторы, заземляющая поверхность) сверхпроводниковых многокубитных схем с высокими временами релаксации благодаря химической стойкости, относительно высокой критической температуре сверхпроводящего перехода и плотному однородному естественному оксиду. Однако, полиморфизм в тонких плёнках Ta затрудняет их использование, а механизм фазовой селекции на данный момент достоверно не известен.