Пространственные измерения зондовым методом параметров HBr/Cl2 плазмы в индустриальном TCP-реакторе травления poly-Si - доклад на конференции | ИСТИНА – Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных

Авторы: Глотов А.В., Лопаев Д.В., Шибанов Д.Р., Гиниятуллин Р.М.
Всероссийская с международным участием Конференция : 7-ая Школа молодых учёных Российского форума «Микроэлектроника 2025»
Даты проведения конференции: 15-23 сентября 2025
Дата доклада: 19 сентября 2025
Тип доклада: Устный
Докладчик: Глотов А.В.
Место проведения: Сириус, Россия, Россия
Аннотация доклада:
Исследовано радиальное распределение параметров низкотемпературной индуктивно связанной (ICP) 13,56 МГц плазмы в индустриальном реакторе плазмохимического травления poly-Si в смеси HBr/Cl2 на пластине 300 мм. Измерения выполнялись подвижным ВЧ компенсированным зондом Ленгмюра

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИСТИНА ПсковГУ
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА