ИСТИНА

Тонкие пленки смешано-валентного манганита La1-xSrxMnO3 (LSMO) и различные гетероструктуры на его основе обладают колоссальным магнетосопротивлением, высокой температурой Кюри, узкой шириной линии ферромагнитного резонанса и малой величиной константы затухания Гильберта. Это делает материалы на основе LSMO потенциальными кандидатами для спинтроники. Особый интерес вызывают гетероструктуры, содержащие ферромагнетик LSMO и антиферромагнетик SrMnO3 (SMO). В настоящей работе пленки LSMO и SMO синтезировали при 900оС на оригинальной установке методом химического осаждения из паров (MOCVD). В качестве подложек использовали монокристаллические LaAlO3 (001) и MgO (001). Элементный состав пленок определяли с помощью рентгеноспектрального микроанализа (РСМА). Фазовый состав и структуру пленок исследовали методом рентгеновской дифракции. MOCVD – удобный метод получения эпитаксиальных плёнок различных соединений, в частности оксидных. Наиболее широко применяемые комплексы металлов с 2,2,6,6-тетраметил-3,5-гептандионом (dpm) – La(dpm)3, Sr(dpm)2 и Mn(dpm)3 – значительно отличаются температурой сублимации (180°С, 270°С и 160°С, соответственно). В наших экспериментах это приводило к необходимости поддерживать температуру испарителя в установке на уровне 250-270oC, что отрицательно сказывалось на термической стабильности Mn(dpm)3 и вызывало существенные различия состава пара и осаждаемой пленки. Для снижения температуры испарителя было предложено использовать в качестве прекурсоров смешаннолигандные комплексы Sr и La с dpm и тетраметилэтилендиамином (tmeda). В результате удалось понизить температуру испарителя до 200°С. Экспериментально было подтверждено, что элементный состав получаемых пленок значительно отличается от заданного при синтезе мольного соотношения прекурсоров в паре. Путем итерационных нанесений были установлен состава пара, позволяющий получать пленку с заданным соотношением металлических компонентов La:Sr:Mn = 0,7:0,3:1. На рентгенограмме пленки LSMO на подложке LaAlO3 (001) присутствуют только рефлексы пленки семейства (00l). Это позволяет утверждать, что осажденная пленка является однофазной и, как минимум, высоко ориентированной.