|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Исследование остаточных напряжений нанопленок металлов в процессе осаждениядоклад на конференции
- Авторы: Виноградов Ф.А., Федотов А.Ю.
- Всероссийская Конференция : XXXIV Всероссийская школа-конференция "Математическое моделирование в естественных науках" (ММЕН-2025)
- Даты проведения конференции: 8-10 октября 2025
- Дата доклада: 9 октября 2025
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Виноградов Ф.А.
- Место проведения: Пермь, Россия
-
Аннотация доклада:
Прогресс в наноэлектронике и спинтронике стимулирует растущий интерес к использованию нанопленок на основе ниобия и кобальта. Несмотря на активное изучение их свойств и разработку прогностических моделей, ряд технологических аспектов, в частности вопросы, связанные с осаждением плёнок и расчётом их механических параметров, остаются малоизученными. В рамках данного исследования была разработана и апробирована методика определения механических характеристик наноплёнок, полученных методом магнетронного напыления.
- Добавил в систему: Виноградов Фёдор Андреевич