|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Тонкие плёнки Ta и Nb для высокодобротных сверхпроводниковых схемдоклад на конференции
- Авторы: Зикий Е.В., Степанов И.А., Кривко Е.А., Букатин С.В., Баклыков Д.А., Телеганов М.И., Смирнов Н.С., Иванов А.И., Матанин А.Р., Родионов И.А.
- Всероссийская с международным участием Конференция (Симпозиум) : XXIX Симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника»
- Даты проведения конференции: 10-14 марта 2025
- Дата доклада: 12 марта 2025
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Нижний Новгород, Россия
-
Аннотация доклада:
Представленный материал включает описание и результаты экспериментальных исследований по разработке технологии изготовления базовых слоёв сверхпроводниковых интегральных схем, таких как кубиты и схемы одноквантовой логики. В работе приведены результаты исследований сверхпроводниковых копланарных волноводных резонаторов, отражающие высокий уровень разработанной технологии.
- Добавил в систему: Зикий Евгений Владимирович