Биоспецифические и локальные сенсоры на основе полевых транзисторов с каналом-нанопроводом из кремния на изоляторе - доклад на конференции | ИСТИНА – Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных

Авторы: Преснов Д.Е., Преснова Г.В., Рубцова М.Ю., Божьев И.В., Крупенин В.А., Дагесян С.А., Трифонов А.С., Снигирёв О.В., Дорофеев А.А.
Всероссийская Конференция : XIII Российская конференция по физике полупроводников
Даты проведения конференции: 1-6 октября 2017
Дата доклада: 5 октября 2017
Тип доклада: Устный
Докладчик: Снигирёв О.В.
Место проведения: Екатеринбург, Россия
Аннотация доклада:
В настоящей работе представлены результаты экспериментальных исследований по- левых транзисторов с каналом нанопроводом из КНИ с толщиной верхнего кремниевого слоя 110 нм, изготовленных традиционными для полупроводниковой электроники метода- ми электронной литографии и реактивно-ионного травления.

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИСТИНА ПсковГУ
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА