|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Элементарные химические реакции при атомно-слоевом травлении SiO2 в плазме фторсодержащих газовдоклад на конференции
- Авторы: Зиганшин И.И., Лопаев Д.В., Рахимов А.Т.
- Всероссийская с международным участием Конференция : Каталитический дизайн: от исследований на молекулярном уровне к практической реализации
- Даты проведения конференции: 18-24 августа 2025
- Дата доклада: 20 августа 2025
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Зиганшин И.И.
- Место проведения: Точка Кипения, Новосибирск, Россия
- Доклад на конференции выполнен в рамках проекта (проектов):
- Добавил в систему: Зиганшин Илья Ильнурович