|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Высокочувствительные сенсоры электрического поля на основе транзисторов с каналом нанопроводомдоклад на конференции
- Авторы: Преснов Д.Е., Трифонов А.С., Крупенин В.А., Дорофеев А.А., Божьев И.В.
- Международная Конференция : 27-я Международная Крымская конференция СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии, 10—16 сентября 2017 г. Севастополь, Крым, Россия
- Даты проведения конференции: 10-16 сентября 2017
- Дата доклада: 14 сентября 2017
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Крупенин В.А.
- Место проведения: Севастополь, Крым, Россия
-
Аннотация доклада:
Представлены оригинальные методы изготовления и проведен анализ экспериментального исследования высокочувствительных полевых и зарядовых сенсоров на основе кремниевых нанопроводов. Полевые транзисторы с каналом-нанопроводом изготавливались из кремния на изоляторе с толщиной верхнего кремниевого слоя 110 нм традиционными для полупроводниковой электроники методами электронной литографии и реактивно-ионного травления. Разработана технология изготовления полевых сенсоров для проведения биоспецифических и локальных исследований. Продемонстрирован локальный полевой зонд с чувствительным элементом в виде полупроводникового нанопровода, расположенного на нанометровом расстоянии от острия зонда, обладающий высоким пространственным разрешением. Разработаны и исследованы высокочувствительные биосенсоры на основе транзисторов с каналом-нанопроводом. Продемонстрирована их высокая чувствительность к рН и белковым комплексам.
- Доклад на конференции выполнен в рамках проекта (проектов):
- Добавил в систему: Крупенин Владимир Александрович