ИСТИНА

В настоящей работе представлены первые результаты по исследованию интенсивности свечения плазмы ВЧ разряда, возбуждаемого как вихревыми, так и потенциальными полями. Рассмотренные источники плазмы представляют собой цилиндрические стеклянные или кварцевые колбы, заполненные неоном при давлении 0.1-10 Торр. Для возбуждения разряда на боковой или торцевой поверхности колб располагаются спиральные антенны. Дополнительно к спиральным антеннам, используемым для возбуждения индуктивного ВЧ разряда, по крайней мере, на одной торцевой поверхности крепится электрод, необходимый для возбуждения потенциальных полей в разряде. Первые полученные результаты указывают на возможность повышения интенсивности свечения плазмы на 10-15% при использовании новой модификации ВЧ разряда по сравнению с индуктивным ВЧ разрядом.