|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Механизмы взаимодействия атомов и ионов Ar и He низкой энергии с метильными группами на поверхности low-k диэлектриковдоклад на конференции
- Авторы: Соловых А.А., Сычева А.А., Воронина Е.Н.
- Всероссийская Конференция : XXIII межвузовская молодежная научная школа-конференция имени Б. С. Ишханова "Концентрированные потоки энергии в космической технике, электронике, экологии и медицине" (МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия, 23-24 ноября 2022)
- Даты проведения конференции: 23-24 ноября 2022
- Дата доклада: 23 ноября 2022
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Соловых А.А.
- Место проведения: Россия
- Добавил в систему: Соловых Александр Алексеевич