Влияние зарядового состояния ионов ксенона на распределение по глубине в кремниидоклад на конференции
-
Авторы:
Балакшин Ю.В.,
Кожемяко А.В.,
Назаров А.В.,
Бабайцев Г.В.,
Erich M.,
Черныш В.С.,
Никифорова П.М.,
Завильгельский А.Д.,
Petrovic S.,
Шемухин А.А.
-
Международная Конференция :
VII Всероссийская конференция и школа молодых ученых и специалистов «Физические и физико–химические основы ионной имплантации»
-
Даты проведения конференции:
7-9 ноября 2018
-
Дата доклада:
8 ноября 2018
-
Тип доклада:
Стендовый
-
Докладчик:
Балакшин Ю.В.
-
Место проведения:
Нижний Новогород, Россия
-
Добавил в систему:
Балакшин Юрий Викторович