ИСТИНА

В последние годы наметилась тенденция использования индуктивного ВЧ разряда с внешним магнитным полем в плазменных технологиях при относительно небольших значениях ВЧ мощности и индукции внешнего магнитного поля, т.е. в области параметров плазмы, при которых бесстолкновительное поглощение ВЧ мощности является доминирующим процессом. Однако систематические исследования структуры волн, возбуждаемых при указанных выше условиях, в литературе отсутствуют. В связи с этим в настоящей работе была поставлена задача изучить структуру волн, возбуждаемых в источнике плазмы при значениях магнитного поля 10 -60 Гс и мощностях ВЧ генератора до 1000Вт. В отличие от работ в настоящем эксперименте была использована соленоидальная антенна, которая должна приводить к возбуждению азимутально симметричных волн.